싱글클리너 스마트챔버 8대기술
작성자관리자
- 등록일 24-06-27
- 조회90회
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- 고성능 선택형 세정 : 세정 대상에 따라 고성능의 기능성 옵션 부여
- 02
- 세정액 재부착 방지 : 사이클론 도입으로 와류형성에 의한 방향성 제어
- 03
- 3무 약액공급기술 : 무음환경에서 층류 유동제어로 10나노이하 세정
본문
→ 고성능 고밀도 세정기술 부합 ( 특허출원 중 )
Lets Glow together
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Single Cleaner
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