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Single Cleaner

PRODUCT

Single Cleaner

Single Cleaner
  • 01

    Wet Station의 25매 또는 50매 Batch식 방식보다 우수한 한 장씩 세정하는 Single Cleaner의 다양한 기능성 모듈을 탑재하여 제공합니다.

  • 02

    여러 장을 동시에 세정 할 경우 뒷면의 오염원이 전면에 재부착하는 현상이 있습니다.

  • 03

    Etching Bath에서 기판을 담굴 때 하부가 먼저 닿고 빼낼 때 하부가 나중에 나와 Etching Uniformity가 좋지 못합니다.

  • 04

    Single Cleaner는 상부면과 하면을 분리하여 세정 처리하고, 상면의 균일도를 제어하기 위하여 Nozzle Swing을 합니다.

당사는 Single Cleaner 모델을 다양하게 제공합니다.
모델 Saturn(토성:지구와 같이 자전을 하고 아름다운 띠 있음)으로 Line-up 하였습니다.

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  • 0
    싱글클리너 스마트챔버 8대기술
    싱글클리너 스마트챔버 8대기술
    01
    고성능 선택형 세정 : 세정 대상에 따라 고성능의 기능성 옵션 부여
    02
    세정액 재부착 방지 : 사이클론 도입으로 와류형성에 의한 방향성 제어
    03
    3무 약액공급기술 : 무음환경에서 층류 유동제어로 10나노이하 세정

    → 고성능 고밀도 세정기술 부합 ( 특허출원 중 )

  • 3
    싱글 클리너에 부합한 열교환기
    싱글 클리너에 부합한 열교환기
    01
    In-situ 장착으로 유량변동에 따른 출구온도 변화 최소화 설계
    02
    다양한 세정 유체 적용 가능 (가스류, 약액류)
    03
    LFC(Liquid Flow Controller)와 연계하여 온도 설정 및 순시 유량 변동 모드 적용가능

    인라인 열교환기 <특허 출원 중>

  • 2
    IPA SUPPLY UNIT
    IPA SUPPLY UNIT
    01
    Dual Tank N2 가압의 공급 방식으로 다챔버 연속 사용 가능
    02
    Tank 2단계 압력제어, 상한 압력 및 온도 인터락, Tank 릴리프 밸브 적용으로 안전성 확보
    03
    Large Size 터치스크린에 Flow창과 모드입력창 동시 표시로 사용자 편의성 증대 (Auto/Semi-auto/Manua..

    → Single Cleaner 건조공정 적용

  • 1
    SATURN-B Backside Single Cleaner Chamber
    SATURN-B Backside Single Cleaner Chamber
    01
    Chuck 중심부 Pressure & Vaccum 구조로 Wafer Stiffness 우수
    02
    Edge N2 Blower, Floating Gap 30±5㎛
    03
    Backside, Thinning에 적합

     → PV 내장된 Spin Chuck 구조 ( 특허 출원 중 )    

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