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케이세미 주식회사

Single Cleaner

IPA SUPPLY UNIT

작성자관리자

  • 등록일 24-04-22
  • 조회117회
01
Dual Tank N2 가압의 공급 방식으로 다챔버 연속 사용 가능
02
Tank 2단계 압력제어, 상한 압력 및 온도 인터락, Tank 릴리프 밸브 적용으로 안전성 확보
03
Large Size 터치스크린에 Flow창과 모드입력창 동시 표시로 사용자 편의성 증대 (Auto/Semi-auto/Manual Mode)

본문

→ Single Cleaner 건조공정 적용

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