IPA SUPPLY UNIT
작성자관리자
- 등록일 24-04-22
- 조회189회
- 01
- Dual Tank N2 가압의 공급 방식으로 다챔버 연속 사용 가능
- 02
- Tank 2단계 압력제어, 상한 압력 및 온도 인터락, Tank 릴리프 밸브 적용으로 안전성 확보
- 03
- Large Size 터치스크린에 Flow창과 모드입력창 동시 표시로 사용자 편의성 증대 (Auto/Semi-auto/Manual Mode)
본문
듀얼 가압순환 시스템 < 특허 등록 >
