SATURN-B Backside Single Cleaner Chamber
작성자최고관리자
- 등록일 24-01-17
- 조회176회
- 01
- Chuck 중심부 Pressure & Vaccum 구조로 Wafer Stiffness 우수
- 02
- Edge N2 Blower, Floating Gap 30±5㎛
- 03
- Backside, Thinning에 적합
본문
→ PV 내장된 Spin Chuck 구조 ( 특허 출원 중 )
Lets Glow together
세상의 가치를 더해 함께 성장합니다
케이세미 주식회사
Single Cleaner
Company Info
업체명 : 케이세미 주식회사 ㅣ 사업자등록번호 : 670-87-02851주소 : (31028) 충남 천안시 서북구 직산읍 금곡로 84 2동 102호 (마정리)
Tel :010-8455-5226 / 041-415-1555 | Fax. : 041-415-1544 | E-mail : kwkoo.38@daum.net
CS center
010-8455-5226
041-415-1555
E-mail. kwkoo.38@daum.netFax. 041-415-1544