Cassette Type & Cassette Less Type Batch Cleaner
작성자최고관리자
- 등록일 24-01-17
- 조회112회
- 01
- 200mm, 300mm Wafer 세정 (25매 또는 50매 동시 처리 가능) Flow Simulation 기반 설계
- 02
- 최적의 건조 기법 제안 및 Maintenance 용이한 Compact 구조 설계
- 03
- 반도체 수준의 고품질 세정을 요하는 부품세정 응용 가능
본문
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케이세미 주식회사
Wet Station
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